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多晶硅鑄錠用石墨件
 

多晶硅鑄錠用石墨件

鑄錠爐熱場主要由特種石墨用加熱器、石墨電極、石墨坩堝、DS塊、支撐桿、進氣管等零部件組成。

熱場是多晶硅鑄錠爐的心臟,其內裝石墨加熱器、隔熱層、坩堝和硅料等。多晶硅工藝生產過程中多晶硅鑄錠爐加熱室的結構設計顯得至關重要。石墨的來源廣泛,可加工成各種形狀,且具有熱慣性小,可以快速加熱,耐高溫,耐熱沖擊性好,輻射面積大,加熱效率高,基本性能穩定等特點,成為了現在熱場的主要原料。

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